ČSN EN 62047-8 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev
- Norma: ČSN EN 62047-8 (358775)
- Název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev
- Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
- Katalogový kód:89570
- Dostupnost:Tisk
- Váha (gr):100
- Třídící znak:358775
- Platnost:Norma je platná
- Vydání:12/2011
- Účinnost:01/2012 - doposud
- Jazyk:Část nebo celá norma je v angličtině.
ČSN EN 62047-8 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 8: Zkušební metoda ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev Norma Kat. číslo: 89570
Anotace textu normy ČSN EN 62047-8 (358775)
Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300.
Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká.
Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner
GPSR - Výrobce/Distributor:
TECHNOR print, s.r.o., K Sokolovně 439/11, Hradec Králové 503 41
IČ: 06655327, e-mail: technor@technor.cz
Bezpečnostní informace k produktu: Technické normy ČSN
Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.