ČSN EN 62047-18 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
- Norma: ČSN EN 62047-18 (358775)
- Název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
- Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
- Katalogový kód:95059
- Dostupnost:Tisk
- Váha (gr):100
- Třídící znak:358775
- Platnost:Norma je platná
- Vydání:04/2014
- Účinnost:05/2014 - doposud
- Jazyk:Část nebo celá norma je v angličtině.
ČSN EN 62047-18 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů Norma Kat. číslo: 95059
Dlouhý název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 18: Metoda zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů
Krátký název: Norma
Třídící znak: 358775
Platnost: Norma je platná
Vydání: 04/2014
Účinnost: 05/2014 - doposud
Jazyk: Část nebo celá norma je v angličtině.
315,00 Kč
315,00 Kč s DPH Anotace textu normy ČSN EN 62047-18 (358775)
Tato norma stanovuje metody pro zkoušení ohybu tenkovrstvých materiálů s délkou a šířkou méně jak 1 mm a tloušťkou mezi 0,1 µm až 10 µm. Tyto tenkovrstvé prvky jsou používány jako hlavní konstrukční materiály pro mikroelektromechanické systémy (v tomto dokumentu MEMS) a mikrostroje.
Hlavní konstrukční materiály pro MEMS, mikrostroje aj. mají speciální vlastnosti, jako jsou velikost několik mikrometrů, jsou vyráběny nanášením, fotolitografií a/nebo nemechanickým obráběním. Tato norma definuje zkoušku ohybem a zkoušku tvaru pro jemné mikročásticové zkušební vzorky tvaru nosníku, které umožňují zajistit přesnost, která je vyžadována ve speciálních případech.
Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner
GPSR - Výrobce/Distributor:
TECHNOR print, s.r.o., K Sokolovně 439/11, Hradec Králové 503 41
IČ: 06655327, e-mail: technor@technor.cz
Bezpečnostní informace k produktu: Technické normy ČSN
Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.