ČSN EN 62047-17   (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev

  • Norma: ČSN EN 62047-17   (358775)
  • Název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
  • Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
  • Katalogový kód:98268
  • Dostupnost:Tisk
  • Váha (gr):100
  • Třídící znak:358775
  • Platnost:Norma je platná
  • Vydání:09/2015
  • Účinnost:10/2015 - doposud
  • Jazyk:Část nebo celá norma je v angličtině.

ČSN EN 62047-17   (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev Norma Kat. číslo: 98268

Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
Dlouhý název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 17: Zkušební metoda vyboulení pro měření mechanických vlastností tenkých vrstev
Krátký název: Norma
Třídící znak: 358775
Platnost: Norma je platná
Vydání: 09/2015
Účinnost: 10/2015 - doposud
Jazyk: Část nebo celá norma je v angličtině.
325,00 Kč
325,00 Kč s DPH

Anotace textu normy ČSN EN 62047-17   (358775)

Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm.

Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko.

Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály.

 

Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner

 

GPSR - Výrobce/Distributor:
TECHNOR print, s.r.o., K Sokolovně 439/11, Hradec Králové 503 41
IČ: 06655327, e-mail: technor@technor.cz
Bezpečnostní informace k produktu: Technické normy ČSN

Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.