ČSN EN 62047-16 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
- Norma: ČSN EN 62047-16 (358775)
- Název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
- Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
- Katalogový kód:98269
- Dostupnost:Tisk
- Váha (gr):100
- Třídící znak:358775
- Platnost:Norma je platná
- Vydání:09/2015
- Účinnost:10/2015 - doposud
- Jazyk:Část nebo celá norma je v angličtině.
ČSN EN 62047-16 (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku Norma Kat. číslo: 98269
Dlouhý název: Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 16: Metody zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev MEMS - Metody zakřivení desky a ohyb konzolového nosníku
Krátký název: Norma
Třídící znak: 358775
Platnost: Norma je platná
Vydání: 09/2015
Účinnost: 10/2015 - doposud
Jazyk: Část nebo celá norma je v angličtině.
211,00 Kč
211,00 Kč s DPH Anotace textu normy ČSN EN 62047-16 (358775)
Tato norma popisuje metodu zkoušení pro stanovení zbytkového pnutí vrstev s tloušťkami v rozsahu 0,01 µm do 10 µm ve strukturách MEMS vytvořených metodou zakřivení desky nebo metodou ohybu konzolového nosníku. Vrstvy by měly být naneseny na substrát známých mechanických vlastností Youngova modulu a Poissonova poměru. Tyto metody slouží k určení zbytkového pnutí tenkých vrstev nanesených na substrátu.
Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner
GPSR - Výrobce/Distributor:
TECHNOR print, s.r.o., K Sokolovně 439/11, Hradec Králové 503 41
IČ: 06655327, e-mail: technor@technor.cz
Bezpečnostní informace k produktu: Technické normy ČSN
Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.