ČSN EN 62047-15   (358775) Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 15: Metoda zkoušení pevnosti spojení mezi PDMS a sklem

Anotace textu normy ČSN EN 62047-15   (358775)

Tato norma popisuje metodu zkoušení pevnosti spojení mezi polydimethylsiloxanem (PDMS) a sklem. Pryž na bázi silikonu, PDMS, se používá na vytváření mikrofluidních součástek na bázi čipu vyrobených pomocí procesů litografie a odlévání repliky. Problém pevnosti spojení je především u vysokotlakých aplikací jako v případě peristaltických čerpadel, kde je vzduch stlačený mimo čip použit pro ovládání tekutiny v mikrokanálech vytvořených dvěma vrstvami, jednou utvořenou vazbou mezi sklem s odlévanou replikou PDMS a druhou mezi PDMS a PDMS. V případě systémů, které mají pneumatické mikroventily se stává zcela nutná relativně vysoká úroveň spojení mezi dvěma vrstvami PDMS. Obvykle se vyskytují netěsnosti a rozrušující jevy mezi rozhraním spojených oblastí, které způsobují nestabilitu a zkracují dobu života součástek MEMS. Tato norma stanoví obecné postupy zkoušky spojení PDMS a skleněným čipem.