ČSN EN 100015-3   (358725) Základní specifikace. Ochrana elektrostaticky citlivých součástek. Část 3: Požadavky na čisté prostory

  • Norma: ČSN EN 100015-3   (358725)
  • Název: Základní specifikace. Ochrana elektrostaticky citlivých součástek. Část 3: Požadavky na čisté prostory
  • Kategorie: 3587 - Polovodičové součástky
  • Katalogový kód:20005
  • Dostupnost:Tisk
  • Váha (gr):100
  • Třídící znak:358725
  • Platnost:Norma není platná
  • Vydání:08/1996
  • Účinnost:09/1996 - 11/2001
  • Jazyk:Norma je v češtině.
Norma byla nahrazena těmito normami: ČSN EN 61340-5-2   (346440)

Anotace textu normy ČSN EN 100015-3   (358725)

Tato norma uvádí doplňkové požadavky k normě EN 100015: Část 1 pro ochranu součástek citlivých na elektrostatický výboj před elektrostatickými výboji v čistých prostorech. Norma se vztahuje na čisté prostory třídy 100 a nižší (viz tabulku 301), které se používají pro výrobu, manipulaci nebo opravu ESDS. Pro čisté prostory třídy vyšší než 100 platí požadavky EN 100015: Část 1.

UPOZORNĚNÍ: Ačkoliv tato norma nezahrnuje požadavky na bezpečnost personálu, je brán zřetel na potřeby všech zainteresovaných, aby byly splněny příslušné místní zákonné požadavky, vztahující se na ochranu zdraví a bezpečnost všech osob na všech pracovních místech, včetně těch, kterých se týká tato norma. (Pozornost se věnuje skutečnosti, že elektrická napětí přesahující 50 V střídavých nebo 120 V stejnosměrných mohou být nebezpečná personálu.)

POZNÁMKA - Navíc k nebezpečí poškození elektrostatickým výbojem z nežádoucích nábojů, elektrostatický náboj může rovněž přitahovat prachové částice na pracovní povrchy, což může výrazně ovlivnit výtěžnost výrobních postupů vznikem lokalizovaných vad. Pro dosažení potřebně malého množství počtu částic je nutno brát v úvahu, že mnoho materiálů používaných v čistých prostorech má tendenci k vytváření velkých elektrostatických nábojů, například:

- kombinézy z umělých vláken,

- pracovní držadla z křemene, PTFE, polypropylenu, PFA a z podobných materiálů,

- pracovní povrchy.

Dále jisté postupy používané v čistých prostorech mohou rovněž generovat vysoký elektrostatický náboj, například:

- odstředivky sušicích procesů,

- čištění pomocí rozprašovačů a kartáčů,

- systémy transportu vzduchem,

- vysokoenergetické procesy.

Tyto pracovní materiály a postupy kombinované s nízkou vodivostí polovodičových materiálů, používaných při výrobě součástek, činí v čistých prostorech nezbytnými zvláštní opatření pro zabezpečení, aby výrobky nebyly elektrostaticky poškozeny.

 

Zdroj: Česká Agentura pro Standardizaci (www.agentura-cas.cz) - smluvní partner

Náhled obsahu normy dočadně není k dispozici.